加入日期	2017年01月10日	所屬地區(qū)	內(nèi)蒙古自治區(qū)	進(jìn)展階段	環(huán)評公示

正文內(nèi)容

項目名稱：年產(chǎn)8000噸高純度、低 耗能多晶硅材料技術(shù)改造項目 

項目概況：年產(chǎn)8000噸高純度、低 耗能多晶硅材料技術(shù)改造項目，建設(shè)地點位于內(nèi)蒙古自治區(qū)鄂爾多斯市鄂克托旗棋盤井鎮(zhèn)工業(yè)園區(qū)，項目總投資：41729 萬元，在原有 3000t/a 多晶硅生產(chǎn)線的基礎(chǔ)上進(jìn)行 8000t/a 多晶硅節(jié)能改造。在原有工程基礎(chǔ)上，改造部分工序生產(chǎn)工藝，實現(xiàn)生 產(chǎn)各工序的產(chǎn)能擴(kuò)大、技術(shù)提升、設(shè)備優(yōu)化，達(dá)到“提質(zhì)、節(jié)能、降耗和降本” 的目的。本改擴(kuò)項目建設(shè)期限為 2016～2017 年，2016 年 12 月完成項目建設(shè)前期階 段工作，2017 年 3 月正式開工建設(shè)，2017 年 7 月底機(jī)械竣工，2017 年 10 月完 成試車、性能考核后，正式投入商業(yè)運行。 

建設(shè)單位：內(nèi)蒙古鄂爾多斯多晶硅業(yè)有限公司 

環(huán)評機(jī)構(gòu)：中冶東方控股有限公司 

受理日期：2017年1月5日 

改擴(kuò)建工程建設(shè)內(nèi)容 改擴(kuò)建項目主要是對已有生產(chǎn)線的擴(kuò)能技改升級，主要是根據(jù)生產(chǎn)運行情況 27 對生產(chǎn)裝置進(jìn)行技術(shù)改造，滿足擴(kuò)能需求的同時達(dá)到節(jié)能降耗和提高產(chǎn)品質(zhì)量的 目。 
項目建設(shè)內(nèi)容主要包括以下方面： 
還原工序 
對已有 18 臺 18 對棒還原爐進(jìn)行工藝、設(shè)備以及相配套的電儀、管道等 進(jìn)行優(yōu)化改造，將原有的 3000t/a 多晶硅產(chǎn)能提升至 3500t/a，還原電耗由 90kWh/kg-Si 降至 65kWh/kg-Si。 原有多晶硅還原系統(tǒng)設(shè)計產(chǎn)能為年產(chǎn) 3000 噸多晶硅，全部為德國新泰克 18 對棒還原爐，使用的硅芯規(guī)格為 2.0m 高的圓硅芯；其生產(chǎn)流程為集中供氣的生 產(chǎn)模式，即汽化器單獨汽化高純?nèi)葰涔璜@得的三氯氫硅氣體分別進(jìn)入到單臺還 原爐的分氣柜內(nèi)，與常溫氫氣進(jìn)行混合得到指定配比的混合氣進(jìn)入到李比希管內(nèi) 進(jìn)行升溫，升溫后的混合氣進(jìn)入到還原爐內(nèi)，作為多晶硅氣相沉積的原料。 還原尾氣進(jìn)入到李比希管內(nèi)給混合氣升溫后，然后直接進(jìn)入后續(xù)干法尾氣回 收系統(tǒng)，送往干法回收系統(tǒng)的還原尾氣溫度相對較高。 還原系統(tǒng)采用高溫水作為冷卻介質(zhì)的有還原爐底盤及還原爐鐘罩，供水溫度 為 90℃，出水溫度為 130℃，該品質(zhì)的高溫水熱利用效率相對較低，基本都是通 過空冷器直接冷卻，因此還原爐副產(chǎn)的熱量未得到有效的回收。 
拆除現(xiàn)有熱氫化爐，利舊原有廠房，通過廠房結(jié)構(gòu)改造，在原廠房內(nèi)新 增 9 臺 36 對棒還原爐，以新增 4500t/a 多晶硅產(chǎn)能，還原電耗達(dá)到 50kWh/kg-Si。 通過上述技改，實現(xiàn)總產(chǎn)能為 8000t/a 多晶硅。 現(xiàn)有多晶硅前后處理有專門的廠房，設(shè)計時處理能力大，空間布置滿足擴(kuò)產(chǎn) 需求，因此本次技改過程中前后處理車間不需要做調(diào)整，能夠滿足擴(kuò)建后年產(chǎn) 8000t/a 多晶硅的需求。 
提純工序 
改造設(shè)計理念 
提純工藝參數(shù)、流程最優(yōu)化 本項目結(jié)合當(dāng)前知名企業(yè)及設(shè)計院氯硅烷精餾提純的研發(fā)、設(shè)計、運行等經(jīng) 驗，采用最合適的回流比和操作工況，達(dá)到產(chǎn)品品質(zhì)要求；同時精簡塔組流程， 最大限度的優(yōu)化塔的配置和配套的設(shè)備數(shù)量、規(guī)格，最大限度的降低提純能耗， 28 達(dá)到節(jié)能降耗的目的。 
充分利用差壓熱耦合技術(shù)，降低能耗 在生產(chǎn)穩(wěn)定和可操作性的前提下，運用多塔、多方式差壓熱耦合技術(shù)，降低 能耗。 
最大限度利舊已有裝置和設(shè)備 充分考慮已有的設(shè)備和裝置，讓低效資產(chǎn)增效增值，減少新購設(shè)備數(shù)量，降 低投資。 
提純技改內(nèi)容 
對已有塔組流程、塔內(nèi)件、物料特點，對工藝流程、裝備能力進(jìn)行核算， 合理分配塔組，以滿足產(chǎn)能需求，同時充分考慮已有的設(shè)備和裝置，減少投資。 
新增粗餾塔、精餾塔等塔組，以滿足年產(chǎn) 8000 噸多晶硅的產(chǎn)能需求。 
在生產(chǎn)穩(wěn)定和可操作性的前提下，運用多塔、多方式差壓熱耦合技術(shù)。 提純塔組中精餾塔、粗餾塔、干法精餾塔、回收塔和反歧化塔均采用差壓熱耦合 技術(shù)，提純能耗降低 40～50%，節(jié)水 40%。 
提純工藝技術(shù)方案 8000t/a 多晶硅提純工序新增加 5 個塔，利舊 8 個塔，分別為初分塔、粗餾 塔、精餾塔、回收塔和干法精餾塔等， 
各類型塔組的工藝簡介如下： 1）初分塔 03T001 冷氫化初分塔處理氫化冷凝料，由 1 個塔組成，為新增設(shè)備，流程為塔釜采 29 出四氯化硅返回氫化工序，塔頂料到脫輕塔，殘液進(jìn)殘液回收系統(tǒng)。 2）脫氫塔 02T0101 來自初分塔的塔頂料經(jīng)脫氫塔，將二氯二氫硅分離送入反應(yīng)歧化塔，三氯氫 硅送入粗餾塔組（03T0101、03T0102、03T0103）。 3）粗餾塔組 03T0101、03T0102、03T0103 粗餾塔組主要處理氫化粗餾塔經(jīng)脫輕后的產(chǎn)品，由 3 塔組成，均為新增設(shè) 備，流程為：脫重→脫輕→脫重，高沸物和低沸物返回高低沸回收塔（02T0104、 02T0105）進(jìn)一步回收。 節(jié)能措施：3 塔差壓熱耦合、原料與產(chǎn)品雙效換熱。 4）精餾塔組 02T0102、02T0103| 精餾塔組主要處理粗餾塔的產(chǎn)品，由 2 塔組成，均為利舊設(shè)備，流程為： 脫輕→脫重，最終滿足還原爐使用要求。 節(jié)能措施：2 塔差壓熱耦合、原料與產(chǎn)品雙效換熱。 5）高低沸回收塔 02T0104、02T0105 回收塔處理粗餾塔高沸物和低沸物，由一組塔組成，利用原粗餾二級塔和三 級塔，流程為脫輕-脫重，回收產(chǎn)品。 節(jié)能措施：2 塔差壓熱耦合、原料與產(chǎn)品雙效換熱。 6）干法精餾塔 03T0104、原 AK120 干法塔處理還原尾氣干法回收料，由 2 塔組成，利舊原尾氣回收塔 AK120， 新增 1 個塔，干法精餾產(chǎn)品滿足進(jìn)還原要求，低沸物進(jìn)分離塔進(jìn)一步回收，高 沸物四氯化硅送入氫化工序或反歧化工序。 7）反歧化反應(yīng)精餾塔 AK500、AK200 反歧化反應(yīng)精餾塔，由 2 塔組成（AK500 和 AK200），均為利舊，反歧化 產(chǎn)品進(jìn)精餾塔或滿足要求后進(jìn)還原爐 
尾氣回收工序 基于“用最少的投入實現(xiàn)鄂爾多斯多晶硅 8000t/a 穩(wěn)定低能耗運行”的原則， 盡可能利舊使用或改造原有設(shè)備，對原尾氣回收技改后降低了能耗： 
壓縮后由原來的 1.6MPa，降至 1.3MPa，降低了壓縮機(jī)的功耗； 
停用-70℃復(fù)疊式冷凍機(jī)組，節(jié)省了大量的電耗。 
冷氫化工序 四氯化硅氫化工序采用當(dāng)前技術(shù)成熟、安全穩(wěn)定的大型流化床技術(shù)。其工藝 流程描述： 1）硅粉進(jìn)料系統(tǒng)：硅粉輸送采用正壓密相輸送系統(tǒng)輸送，由硅粉倉庫硅粉 輸送裝置在氮氣氛圍下將硅粉輸送至流化床車間內(nèi)高處的低壓進(jìn)料罐，然后在重 力作用下進(jìn)入高壓進(jìn)料罐，置換合格后沖壓至高壓，通過氣體和自身重力下送至 氫化反應(yīng)器內(nèi)； 2）四氯化硅與氫氣混合預(yù)熱系統(tǒng)：四氯化硅從罐區(qū)經(jīng)過四氯化硅輸送泵送 至氣液換熱器、四氯化硅預(yù)熱器，預(yù)熱至一定溫度后，進(jìn)入四氯化硅蒸發(fā)器轉(zhuǎn)化 為氣相四氯化硅。通過流量連鎖控制四氯化硅氣體量，與來自壓縮機(jī)的循環(huán)氫氣 流量連鎖，使四氯化硅與氫氣的配比控制在 1:2。二者混合后直接送至過熱器進(jìn) 一步加熱至 320℃后，與氫化反應(yīng)器出口的高溫尾氣通過氣氣換熱器進(jìn)行換熱， 換熱后的氣體進(jìn)入混合器預(yù)熱爐電加熱至氫化反應(yīng)所需的溫度，進(jìn)入氫化反應(yīng) 器。 3）氫化反應(yīng)：來自步驟 1）的硅粉和步驟 2）的高溫四氯化硅和氫氣混合氣 體在氫化流化床反應(yīng)器中進(jìn)行氫化反應(yīng)，產(chǎn)生的氫化尾氣進(jìn)入氣氣換熱器換熱降 溫至 350℃左右后直接進(jìn)入急冷塔。 4）尾氣急冷除塵除雜系統(tǒng)：含有固體顆粒及金屬雜質(zhì)的氫化尾氣進(jìn)入急冷 塔，與急冷塔內(nèi)液體充分熱質(zhì)接觸，凈化除塵后進(jìn)入塔頂空冷器，空冷至 60℃。 冷凝后的液體部分回流至急冷塔，急冷塔底部排放的殘液經(jīng)殘液回收裝置將氯化 硅回收，固體渣送至三廢處理。經(jīng)過空冷后的氣體進(jìn)入后續(xù)的多級冷凝系統(tǒng)。 5）多級冷凝回收系統(tǒng)：來自步驟 4）的氣體，經(jīng)過水冷、雙效換熱、深冷 后，從中分離出來的氫氣進(jìn)入循環(huán)氫氣壓縮機(jī)壓縮后循環(huán)使用，冷凝下來的氯硅 烷液體送至提純塔。 6）氣體壓縮系統(tǒng)：來自步驟 5）的氫氣進(jìn)入循環(huán)氫壓機(jī)進(jìn)口緩沖罐，與外 界補(bǔ)充的氫氣混合后送至循環(huán)氫氣壓縮機(jī)壓縮至 3.3MPa，經(jīng)循環(huán)氫氣壓縮機(jī)出 口緩沖罐去往步驟 1）。 7）冷凝料粗餾系統(tǒng)：來自步驟 5）的氫化冷凝料經(jīng)兩級塔進(jìn)行提純分離， 分離出來的四氯化硅返回至步驟 2），分離的三氯氫硅和二氯二氫硅送至提純裝 31 置的精餾塔和二氯二氫硅分離塔進(jìn)一步分離。 

改擴(kuò)建工程項目組成一覽表 
項目組成 生產(chǎn)工序 原有工程 改擴(kuò)建工程 備注 
主體 工程 H2制備與 凈化 電解槽、除氧器、吸附干燥器 依托原有工程 已建 液氯汽化 液氯鋼瓶（57 個鋼瓶），其中 28 個使用，29 個備用 依托原有工程 已建 HCl 合成 HCl 合成爐、空氣冷卻器、HCl 冷卻器、HCl 深冷器等 依托原有工程 已建 SiHCl3合成 HCl 加熱器、氮氣電加熱器、泄放氣除塵器、硅塵捕集 器、硅塵過濾器、SiHCl3合成爐、合成氣洗滌塔和冷凝 器、SiCl4蒸汽冷凝器、氯硅烷液體過濾器、混合排放氣 冷卻器等 依托原有工程 已建 精餾提純 多級（1~11）精餾塔、再沸器、冷凝器、氮氣增濕器、 進(jìn)料預(yù)熱器、尾氣冷凝器 新增粗餾塔、精餾塔等塔組，以滿足產(chǎn)能需求；在生產(chǎn)穩(wěn) 定和可操作性的前提下，運用多塔、多方式差壓熱耦合技 術(shù)。提純塔組中精餾塔、粗餾塔、干法精餾塔、回收塔和 反歧化塔盡量采用差壓熱耦合技術(shù)；新增加 5 個塔，原有 多級精餾塔中利舊 8 個塔，拆除 3 個塔；分別為初分塔、 粗餾塔、精餾塔、回收塔和干法精餾塔 擬建 SiHCl3氫還 原 SiHCl3揮化器、還原爐、冷卻器、加熱器等 （1）對已有 18 臺 18 對棒還原爐進(jìn)行工藝、設(shè)備以及相配 套的電儀、管道等進(jìn)行優(yōu)化改造，將原有的 3000t/a 多晶硅 產(chǎn)能提升至 3500t/a； （2）拆除現(xiàn)有的全部熱氫化爐，利舊原有廠房，通過廠房 結(jié)構(gòu)改造，在原廠房內(nèi)新增 9 臺 36 對棒還原爐，以新增 4500t/a 多晶硅產(chǎn)能實現(xiàn)總產(chǎn)能為 8000t/a 多晶硅。 擬建 33 SiCl4氫化 工序 揮化器、氫化爐、加熱器、冷卻器等 將原有熱氫化工序改為冷氫化工序。新增一條單線 15 萬噸 /年 TCS 冷氫化裝置（含渣漿處理），匹配 8000 噸/年多晶 硅產(chǎn)能需求； 新增反歧化裝置，處理還原和冷氫化副產(chǎn)生的二氯二氫硅 擬建 硅芯制備和 產(chǎn)品整理 硅芯爐、烘干爐、煅燒爐、切割機(jī)、腐蝕槽、清洗槽等； 采用區(qū)熔爐拉制與切割并用的技術(shù)，加工制備還原爐初 始生產(chǎn)時需安裝于爐內(nèi)的導(dǎo)電硅芯。 依托原有工程 已建 
公用及輔助 工程 辦公、生活 設(shè)施 綜合辦公樓和倒班宿舍、中央化驗室、食堂、車間辦公 室、浴室、衛(wèi)生間、車庫等。 依托原有工程 已建 供水系統(tǒng) 由棋盤井工業(yè)園區(qū)自來水公司水廠供水。 依托原有工程 已建 供電系統(tǒng) 本工程供電由鄂爾多斯市電力集團(tuán)供電公司提供，采用 兩回路。 依托原有工程 已建 排水管網(wǎng) 廠區(qū)有生產(chǎn)廢水、生活污水、消防事故和雨水排水四個 系統(tǒng)。生產(chǎn)廢水、事故消防廢水收集池廢水經(jīng)廠區(qū)內(nèi)污 水處理系統(tǒng)處理后部分回用于酸堿配置工序使用，部分 排入園區(qū)污水處理廠進(jìn)行處理，生活污水經(jīng)化糞池預(yù)處 理后排入棋盤井工業(yè)園區(qū)污水處理廠進(jìn)行進(jìn)一步處理。 依托原有工程 已建 廠污水處理 站 處理能力 200m3 /h 依托原有工程 已建 消防水池 容積 2000 m3(按 130l/s，持續(xù) 3 小時計) 依托原有工程 已建 事故及初期 雨水池 容積 2000 m3，與消防排水池同用 依托原有工程 已建 34 循環(huán)冷卻系 統(tǒng) 循環(huán)水量 10000m3 /h。 依托原有工程 已建 純水站 出力 25m3 /h 依托原有工程 已建 脫鹽水站 設(shè)計出力 70m3 /h，正常情況出力 60m3 /h 依托原有工程 已建 機(jī)房 總控制室、泵站、空分機(jī)房等 依托原有工程 已建 
儲運 工程 儲運系統(tǒng) 綜合倉庫、化學(xué)品庫、成品庫，占地面積為 15800m2； 依托原有工程 已建 臨時渣場（硅渣等）。 依托原有工程 已建 酸堿罐、Cl2 貯罐、H2、HCl、SiHCl3 和 SiCl4緩沖罐及 其貯罐， 新增冷氫化冷凝料儲罐、冷氫化初分塔 STC 儲罐、回收精 餾 STC 儲罐、屏蔽泵， 擬建 廠區(qū)運輸?shù)缆贰?依托原有工程 已建 
依托 工程 供、排水、 熱、蒸汽供 應(yīng) 依托園區(qū)自來水公司水廠供水和管網(wǎng)；生產(chǎn)廢水經(jīng)廠區(qū) 內(nèi)污水處理站處理后部分回用于酸堿配置工序使用，部 分排入園區(qū)污水處理廠進(jìn)行處理，生活污水排至園區(qū)污 水處理廠進(jìn)一步處理，脫鹽水站、循環(huán)水系統(tǒng)產(chǎn)生的含 鹽廢水排入由園區(qū)污水管網(wǎng)排入園區(qū)污水處理廠進(jìn)行 處理；本項目正常生產(chǎn)、開車所需蒸汽來自棋盤井鎮(zhèn)工 業(yè)園區(qū)內(nèi)鄂爾多斯集團(tuán)電廠副產(chǎn)蒸汽，采暖所需熱水由 工業(yè)園區(qū)現(xiàn)有供熱站統(tǒng)一供給。 依托原有工程 已建 依托原有工程 已建 
環(huán)保 工程 廢氣處理 尾氣洗滌塔（1 開 1 備）、酸霧吸附塔、硅粉除塵系統(tǒng) （1）對現(xiàn)有的干法回收系統(tǒng)進(jìn)行產(chǎn)能核算和優(yōu)化改造，降 低能耗，提升質(zhì)量； （2）對現(xiàn)有的熱氫化尾氣回收裝置進(jìn)行產(chǎn)能核算和優(yōu)化 改造，用于新增還原尾氣回收； 擬建 廢水（液） 處理 廢液處理槽、事故水池、中和池、化糞池、污水處理站 等 依托原有工程 已建 35 固體廢物處 理 （1）硅粉等固廢外售建材公司； （2）生活垃圾定點堆場，交由環(huán)衛(wèi)部門統(tǒng)一處理； （3）污水處理站污泥交由有資質(zhì)單位進(jìn)行處理； 新增 1 座危廢暫存間，面積約 100m2。 擬建 噪聲治理 （1）設(shè)備選型上選用低噪聲產(chǎn)品，對部分設(shè)備安裝消 聲器，同時對有關(guān)設(shè)備單獨設(shè)置基礎(chǔ)和采取減震措施； （2） 設(shè)備均布置在車間廠房內(nèi)，經(jīng)廠房隔聲、減振底座、消聲 器等處理； 擬建 綠化 全廠范圍 以裝置區(qū)周邊空地及廠前區(qū)為重點，原則以綠化和實用為 主，選擇能吸塵及吸收有害氣體效果佳的植物，本項目綠 地率為 15%。 擬建 

主要經(jīng)濟(jì)技術(shù)指標(biāo)表 
序號 項目 單位 指標(biāo) 備注 
一 生產(chǎn)規(guī)模 多晶硅裝置 t/a 原有工程擴(kuò)能 二 商品量 多晶硅 t/a 太陽能級 三 年操作時間 h 8000 四 主要原材料 1 工業(yè)硅粉 t/a 2 液氯 t/a 3 氫氧化鈉 t/a 4 生石灰 t/a 5 濃硝酸（約 68%） t/a 6 氫氟酸（約 40%） t/a 五 公用工程用量 1 工業(yè)用水 m3 /h 正常值 2 生活用水 m3 /h 正常值 3 電力負(fù)荷 億 kWh/a 8 正常值 六 運輸量 t/a 23669 1 運入 t/a 12640 2 運出 t/a 13558 七 定員 人 413 八 總規(guī)劃占地面積 m2 381041 包括預(yù)留二期改擴(kuò)工程發(fā)展用地， 均為廠區(qū)內(nèi)既有用地，不新增占地 九 工程項目總投資 萬元 41729 1 建設(shè)投資 萬元 36981 其中含進(jìn)口設(shè)備 585 萬美金 2 建設(shè)期利息 萬元 679.16 3 流動資金 萬元 4068.84 十 年均銷售收入 萬元 96000 含稅 十一 年均總成本 萬元 61288.87 其中年均經(jīng)營成本 萬元 49870.40 十二 年均凈利潤 萬元 15046.78 十三 年均稅金 萬元 14466.07 1 增值稅和附加稅 萬元 9450.48 2 所得稅 萬元 5015.59 十四 財務(wù)評價指標(biāo) 1 總投資收益率(年均) % 11.98 2 投資利稅率(年均) % 17.09 3 資本金凈利率(年均) % 10.64 4 項目全投資 4.1 內(nèi)部收益率 % 16.64 13.02 稅前 稅后 4.2 凈現(xiàn)值 ic=11% 萬元 51334.54 17860.97 稅前 稅后 4.3 投資回收期（靜態(tài)） 年 6.47 7.54 稅前 稅后 5 項目資本金 5.1 內(nèi)部收益率 % 14.33 稅后 5.2 凈現(xiàn)值 ic=13% 萬元 9069.89 稅后 6 貸款償還期 年 8 生產(chǎn)期等額償還 

8000 噸/年多晶硅裝置主要設(shè)備一覽表 
序號 設(shè)備名稱 規(guī)格 數(shù)量 所在車間 備注 
一、還原工序 1 18 對棒還原爐 φ1800，2.0m 硅芯 18 還原車間 利舊 2 防爆橋式起重機(jī) G=16t，S=16.5m 2 還原車間 利舊 3 電極水循環(huán)泵 1210CFF 4 還原車間 利舊 4 電極水冷卻器 板換，1320×730×1535 F=65m2 4 還原車間 利舊 5 爐筒自動清洗機(jī) φ1800，18 對棒 1 還原車間 利舊 6 自動供酸系統(tǒng) WMS-CDS 3 還原車間 利舊 7 自動封箱機(jī) VS5-05(JP501) 還原車間 利舊 8 自動打包機(jī) VS-102(A-93N) 還原車間 利舊 9 真空充氮包裝機(jī) VSI-400F/2-W/100 2 還原車間 利舊 10 硅塊清洗機(jī) WMS-DJGK 2 還原車間 利舊 11 硅芯清洗機(jī) WMS-DJGS 1 還原車間 利舊 12 硅芯磨錐機(jī)床 MZ-08 2 還原車間 利舊 13 硅芯橫梁雙頭鉆孔機(jī)床 GXT2500-8 還原車間 利舊 14 硅芯丫口切割機(jī)床 YKJ2500-8 還原車間 利舊 15 圓盤切斷機(jī)床 YPJ1500-2200 還原車間 利舊 16 鉆孔取樣機(jī) ZS-100H 還原車間 利舊 17 金剛石切割機(jī) SJY-150 2 還原車間 利舊 18 精密研磨拋光機(jī) UNIPOLO-802 2 還原車間 利舊 19 硅芯專業(yè)噴砂機(jī) DT-7555A 2 還原車間 利舊 20 磨錐機(jī) HMJ-200 2 還原車間 利舊 21 36 對棒還原爐 φ3200，2.8 硅芯 9 新增 22 氫氣預(yù)熱器 BEM，φ200*1900；304 18 新增 23 氫氣預(yù)熱器 BEM，φ300*2100；304 8 新增 24 三氯氫硅汽化器 AKU，φ500*4800；304 4 新增 25 混合器 φ150*2000；304 18 新增 26 混合器 φ250*2000；304 8 新增 27 防爆橋式起重機(jī) G=32t，S=16.5m 1 新增 28 電極水循環(huán)泵 CT 型標(biāo)準(zhǔn)化工泵，1210CFF 6 新增 29 電極水冷卻器 1320*730*1535 F=65m2 6 新增 30 爐筒自動清洗機(jī) φ3200，36 對棒 1 新增 31 橫梁打孔機(jī) RS-100 1 新增 32 雙頭磨錐機(jī) RS-200 1 新增 二、干法回收工序 1 還原尾氣空冷器 1# 5500*2000*4140， 換 熱 面 積 F ＝ 58.8/612m2 1 干法裝置 利舊 2 還原尾氣空冷器 2# 5500*2000*4140， 換 熱 面 積 F ＝ 58.8/612m2 1 干法裝置 利舊 5 氯硅烷貯罐 Φ1400，V＝4.57m3 1 干法裝置 利舊 6 富液儲罐 Φ1400，V＝4.57m3 1 干法裝置 利舊 7 氯硅烷屏蔽泵 Q=39.2m3 /hr，H＝43m 4 干法裝置 利舊 10 還原尾氣活塞壓縮機(jī) Q=1812.2m3 /hr，出氣 1.9MPa（表） 2 干法裝置 利舊 11 一級壓縮氣-吸收氣換 熱器 臥式Φ750，L=6000，F(xiàn)＝207.2m2 1 干法裝置 利舊 12 二級壓縮氣-吸收氣換 熱器 臥式Φ750，L=6000，F(xiàn)＝207.2m2 1 干法裝置 利舊 13 壓縮后氣深冷器 臥式Φ450L=5100，F(xiàn)＝39.3m2 1 干法裝置 利舊 14 3#甲苯冷凍系統(tǒng) 入口-15℃，出口-20℃ 1 干法裝置 利舊 15 2#甲苯冷凍系統(tǒng) 入口-50℃，出口-55℃ 1 干法裝置 利舊 18 氯硅烷循環(huán)屏蔽泵 Q=80m3 /h，H＝20m 4 新增 20 還原尾氣壓縮機(jī) 10000Nm3 /h，進(jìn)氣 0.55MPa，出氣 1.3MPa 1 新增 24 再生后氣過冷器 F＝25m2 1 新增 25 氯化氫隔膜壓縮機(jī) 270Nm3 /h 2 新增 26 氯化氫進(jìn)氣緩沖罐 5m3，Φ1600X2300 1 新增 27 氯化氫排氣緩沖罐 5m3，Φ1600X2300 1 新增 28 氯化氫深冷器 F＝30m2，Φ600×4375 1 新增 29 活性炭吸附器 Φ2000 6 新增 30 過濾器 2 新增 31 還原尾氣水冷器 1# F＝200m2 1 新增 32 還原尾氣水冷器 1# F＝200m2 1 新增 33 精餾用甲苯設(shè)備 1 新增 三、氫化工序 1 氫化反應(yīng)器 Φ3000，NO8810，內(nèi)置旋風(fēng)分離器 1 新增 2 急冷塔塔頂冷凝器 BEM，Φ1000，F(xiàn)=148.3m2，立式 1 新增 3 空冷器 GP12X3/2-GJP12X6/1-TF45/2-SC1 2X3/2 1 新增 4 四氯化硅預(yù)熱器 BEU，Φ600×2250，臥式 1 新增 5 四氯化硅蒸發(fā)器 BKU，Φ600×1200，臥式 1 新增 6 氫氣預(yù)熱器 BEU，Φ600×1950，臥式 1 新增 7 混合氣過熱器 BEU，Φ700×3650，臥式 1 新增 8 氣氣換熱器 BEM，Φ800，立式 1 新增 9 混合氣預(yù)熱爐 成套設(shè)備，輻射加熱，Q 額=2000kW 1 新增 10 水冷器 BEM，Φ800×4500，臥式 1 新增 11 中間熱交換器 BEM，Φ700×2300，立式 1 新增 12 終端冷凝器 BEU，Φ800×1600，臥式 1 新增 13 氫氣過熱器 成套設(shè)備，電阻加熱，Q 額=200kW 1 新增 14 氮氣加熱器 電阻加熱，Q=150KW，間斷開 1 新增 15 急冷塔 Φ2400，316 1 新增 16 汽提塔 Φ500，316 1 新增 17 急冷塔側(cè)線回流泵 屏蔽泵，H=35m 2 新增 18 急冷塔塔頂回流泵 屏蔽泵，H=65m 2 新增 20 靜態(tài)混合器 成套設(shè)備 1 新增 21 防爆電動單梁起重機(jī) Q=10T，CD1 型 1 新增 22 低壓進(jìn)料罐過濾器 Φ1000×4150，Q345R 1 新增 23 高壓進(jìn)料罐過濾器 Φ1500×4780，Q345R 1 新增 24 硅粉過濾器 Φ2400×3000，Q345R 1 新增 25 循環(huán)氫氣壓縮機(jī) 2D6.5-5.83/25-32，21000Nm3 /h 2 新增 26 補(bǔ)充氫氣壓縮機(jī) P3.5-0.47/12-34，1700Nm3 /h 2 新增 27 硅粉干燥器 V=20m3，Q345R 2 新增 28 硅粉密相輸送裝置 成套設(shè)備，Q=6T/h，H=32m 1 新增 29 硅粉低壓進(jìn)料罐 V=10.5m3，Q345R 1 新增 30 硅粉高壓進(jìn)料罐 V=10.5m3，15CrMoR 1 新增 31 冷凝料緩沖罐 V=50m3，Q345R 1 新增 32 循環(huán)氫壓機(jī)進(jìn)口緩沖 罐 V=10m3，Φ2000×3000，Q345R 1 新增 33 循環(huán)氫壓機(jī)出口緩沖 罐 V=10m3，Φ2000×3000，Q345R 1 新增 34 補(bǔ)充氫壓機(jī)進(jìn)口緩沖 罐 V=5m3，φ1600×2000，Q345R 1 新增 35 補(bǔ)充氫壓機(jī)出口緩沖 罐 V=5m3，φ1600×2000，Q345R 1 新增 37 制冷裝置 成套設(shè)備，68 萬 kcal/h 1 新增 39 殘液處理裝置 成套設(shè)備 1 新增 40 硅粉氣力輸送 1 合成裝置 利舊 41 硅粉倉庫 1 合成裝置 利舊 四、精餾工序 1 尾氣回收塔 Φ1800×44815，022Cr19Ni10 1 提純裝置 利舊 2 尾氣回收塔冷凝器 Φ1000×6928，00Cr19Ni10 1 提純裝置 利舊 3 尾氣回收塔深凝器 Φ200×5680，00Cr19Ni10 1 提純裝置 利舊 4 尾氣回收塔再沸器 Φ1200×4912，00Cr19Ni10（管） /Q345R （殼） 1 提純裝置 利舊 5 尾氣回收塔回流槽 Φ1400×4263，00Cr19Ni10 1 提純裝置 利舊 6 尾氣回收塔回流泵 Q=42m³/hr，H=59m 2 提純裝置 利舊 7 尾氣回收塔釜液泵 H=31m 2 提純裝置 利舊 8 蒸汽凝液泵 2 提純裝置 利舊 9 蒸汽凝液槽 Φ1400×3063，00Cr19Ni10 1 提純裝置 利舊 10 反歧化 1 塔/粗 1 塔 Φ1600×50437，Q345R 1 提純裝置 利舊 11 反歧化 2 塔/回收 1 塔 Φ1100×55908，Q345R 1 提純裝置 利舊 12 反歧化 3 塔/回收 2 塔 Φ1100×55908，Q345R 1 提純裝置 利舊 13 反歧化 1 塔/粗 1 塔再 沸器 Φ1000×3000，304 1 提純裝置 利舊 14 反歧化 1 塔/粗 1 塔冷 凝器 Φ900×6000，304 1 提純裝置 利舊 15 反歧化 2 塔/回收 1 塔 再沸器 Φ800×3000，304 1 提純裝置 利舊 16 反歧化 2 塔/回收 1 塔 冷凝器 Φ700×6000，304 1 提純裝置 利舊 17 反歧化 3 塔/回收 2 塔 再沸器 Φ1000×3000，304 1 提純裝置 利舊 18 反歧化 3 塔/回收 2 塔 冷凝器 Φ325×3000，304 1 提純裝置 利舊 19 反歧化 3 塔/回收 2 塔 塔底后冷器 Φ400×1500，304 1 提純裝置 利舊 20 反歧化 1 塔/粗 1 塔回 流罐 Φ2000×5480，Q345R 1 提純裝置 利舊 21 反歧化 2 塔/回收 1 塔 回流罐 Φ1800×5150，Q345R 1 提純裝置 利舊 22 反歧化 3 塔/回收 2 塔 回流罐 Φ1800×5150，Q345R 1 提純裝置 利舊 23 反歧化 1 塔/粗 1 塔回 流泵 H=64m 2 提純裝置 利舊 24 反歧化 2 塔/回收 1 塔 回流泵 H=85m 2 提純裝置 利舊 25 反歧化 2 塔/回收 1 塔 塔底泵 H=44m 2 提純裝置 利舊 26 反歧化 3 塔/回收 2 塔回 流泵 H=86m 2 提純裝置 利舊 27 回收 1 塔/粗 2 塔 Φ2000×57000，Q345R 1 提純裝置 利舊 28 回收 2 塔/粗 3 塔 Φ1800×57000，06Cr19Ni10 1 提純裝置 利舊 29 回收 1 塔/粗 2 塔再沸器 Φ1400×3000，304 1 提純裝置 利舊 30 回收 1 塔/粗 2 塔冷凝器 Φ1200×6000，304 1 提純裝置 利舊 31 回收 2 塔/粗 3 塔再沸器 Φ1200×3000，304 1 提純裝置 利舊 32 回收 2 塔/粗 3 塔冷凝器 Φ450×3000，304 1 提純裝置 利舊 33 回收 2 塔/粗 3 塔塔底后 冷器 Φ400×1500，304 1 提純裝置 利舊 34 回收 1 塔/粗 2 塔回流罐 Φ2400×6080，Q345R 1 提純裝置 利舊 35 回收 2 塔/粗 3 塔回流罐 Φ2400×6080，06Cr19Ni10 1 提純裝置 利舊 36 回收 1 塔/粗 2 塔回流泵 H=83m 2 提純裝置 利舊 37 回收 1 塔/粗 2 塔塔底泵 H=83m 2 提純裝置 利舊 38 回收 2 塔/粗 3 塔回流泵 H=87m 2 提純裝置 利舊 39 AK100 Φ1000×50880，06Cr19Ni10 1 提純裝置 利舊 40 AK100 再沸器 F=122m2，φ650×4425，Q345R 1 提純裝置 利舊 41 AK100 冷凝器 F=190m2，φ800×6192，Q345R 1 提純裝置 利舊 42 AK100 深冷器 F=190m2，φ800×6192，Q345R 1 提純裝置 利舊 43 AK100 回流罐 1 提純裝置 利舊 44 AK100 回流泵 2 提純裝置 利舊 45 AK100 塔釜泵 2 提純裝置 利舊 46 AK500 Φ1000×56660，06Cr19Ni10 1 提純裝置 利舊 47 AK500 再沸器 F=36.5m2，Φ600×2000，304 1 提純裝置 利舊 48 AK500 冷凝器 F=61.4m2，Φ700×3000，304 1 提純裝置 利舊 49 AK500 回流罐 Φ1800×2600，304 1 提純裝置 利舊 50 AK500 回流泵 H=83m 2 提純裝置 利舊 51 AK500 塔釜泵 H=38m 2 提純裝置 利舊 52 AK500 進(jìn)料泵 2 提純裝置 利舊 53 精餾 1 塔 Φ3200×76000，Q345R 1 新增 54 精餾 2 塔 Φ3200×76000，Q345R 1 新增 55 精餾 3 塔 Φ3200×71000，304 1 新增 56 精餾 1 塔冷凝器 Φ2000×3900，304（管）/Q345R（殼） 1 新增 57 精餾 1 塔再沸器 Φ2300×6000，304 1 新增 58 精餾 2 塔冷凝器 Φ2100×3800，304（管）/Q345R（殼） 1 新增 59 精餾 2 塔再沸器 Φ2500×6000，304 1 新增 60 精餾 3 塔冷凝器 Φ900×5250，304（管）/Q345R（殼） 1 新增 61 精餾 3 塔再沸器 Φ2000×5550，304（管）/Q345R（殼） 1 新增 62 精餾 1 塔低沸冷卻器 Φ350×3400，304（管）/Q345R（殼） 1 新增 63 精餾 2 塔高沸冷卻器 Φ350×3400，304（管）/Q345R（殼） 1 新增 64 精餾 3 塔高沸冷卻器 Φ350×3400，304（管）/Q345R（殼） 1 新增 65 精餾塔原料-產(chǎn)品冷卻器 Φ400×4550，304（管）/Q345R（殼） 2 新增 66 精餾塔產(chǎn)品冷卻器 Φ400×4100，304（管）/Q345R（殼） 1 新增  67 精餾 1 塔回流罐 1 新增 68 精餾 2 塔回流罐 1 新增 69 精餾 3 塔回流罐 1 新增 70 精餾 1 塔回流泵 H=90m 2 新增 71 精餾 1 塔塔釜泵 H=90m 2 新增 72 精餾 2 塔回流泵 H=90m 2 新增 73 精餾 3 塔回流泵 H=90m 2 新增 74 干法 1 塔 Φ2200×51000，Q345R 1 新增 75 干法 2 塔 Φ2200×60000，304 1 新增 76 干法 1 塔冷凝器 Φ550×5700，304（管）/Q345R（殼） 1 新增 77 干法 1 塔再沸器 Φ2400×5700，304（管）/Q345R（殼） 1 新增 78 干法 2 塔冷凝器 Φ1200×5700，304（管）/Q345R（殼） 1 新增 79 干法 2 塔再沸器 Φ2000×6000，304 1 新增 80 干法塔原料-四硅換熱器 Φ550×5400，304 2 新增 81 干法塔四硅冷卻器 Φ400×4100，304（管）/Q345R（殼） 1 新增 82 干法塔產(chǎn)品冷卻器 Φ400×4100，304（管）/Q345R（殼） 1 新增 83 干法塔低沸冷卻器 Φ350×3400，304（管）/Q345R（殼） 1 新增 84 干法塔尾凝器 Φ400×1700，304/316 1 新增 85 干法 1 塔回流罐 V=25m3，Φ2400×6100，304 1 新增 86 干法 2 塔回流罐 V=25m3，Φ2400×6100，304 1 新增 87 干法 1 塔回流泵 H=90m 2 新增 88 干法 2 塔回流泵 H=95m 2 新增 89 粗餾 1 塔 Φ2800×57000，Q345R 1 新增 90 粗餾 2 塔 Φ2400×62000，Q345R 1 新增 91 粗餾 1 塔冷凝器 Φ550×5700，Q345R 1 新增 92 粗餾 1 塔再沸器 Φ2800×5550，Q345R 1 新增  93 粗餾 2 塔冷凝器 Φ1450×5850，Q345R 1 新增 94 粗餾 2 塔再沸器 Φ2100×6000，Q345R 1 新增 95 粗餾塔原料-四硅換熱器 Φ450×5400，Q345R 2 新增 96 粗餾塔四硅冷卻器 Φ550×3400，Q345R 1 新增 97 粗餾塔高沸冷卻器 Φ350×3400，Q345R 1 新增 98 粗餾塔低沸冷卻器 Φ350×3400，Q345R 1 新增 99 粗餾塔產(chǎn)品冷卻器 Φ350×3400，Q345R 1 新增 100 粗餾塔尾凝器 Φ400×1700，304/316 1 新增 101 粗餾 1 塔回流罐 V=25m3，Φ2400×6100，Q345R 1 新增 102 粗餾 2 塔回流罐 V=25m3，Φ2400×6100，Q345R 1 新增 五、反歧化工序 1 管道混合器 Φ=300 1 新增 2 物料緩沖罐 V=10m3，Φ1800×4400 1 新增 3 屏蔽泵 H=60m 2 新增 4 預(yù)熱器 BEM，F(xiàn)=4m2，Φ205×2400 ，立式 1 新增 5 反歧化反應(yīng)器 Φ1500，Q345R 1 新增 6 產(chǎn)品冷卻器 BEM，Φ257×3000，立式 1 新增 六、罐區(qū) 1 精餾產(chǎn)品罐 臥 式 V=100m3 ， Φ3000×14000 ， SS316L 5 罐區(qū) 利舊 2 干法精餾產(chǎn)品罐 臥 式 V=100m3 ， Φ3000×14000 ， SS316L，304 5 罐區(qū) 利舊 3 精餾產(chǎn)品出料罐 臥式 V=100m3，Φ3000×14000，304 2 罐區(qū) 利舊 4 冷氫化四硅罐 臥 式 V=100m3 ， Φ3000×14000 ， Q345R 2 罐區(qū) 利舊 5 冷氫化四硅罐 立 式 V=300m3 ， Φ6000×14000 ， Q345R 3 新增 6 粗餾產(chǎn)品罐 臥式 V=100m3，Φ3000×14000，304 2 罐區(qū) 利舊 7 回收塔原料罐 臥式 V=100m3，Φ3000×14000，304 1 罐區(qū) 利舊 8 分離塔原料罐 臥式 V=20m3，Φ2000×6000，Q345R 2 罐區(qū) 利舊 9 分離塔產(chǎn)品罐 臥式 V=20m3，Φ2000×6000，Q345R 1 罐區(qū) 利舊 10 分離塔產(chǎn)品罐 臥式 V=20m3，Φ2000×6000，Q345R 1 新增 11 反歧化塔原料罐 立 式 V=50m3 ， Φ2500×10000 ， Q345R 1 新增 12 外購 TCS 罐 臥式 V=100m3，Φ3000×14000，304 1 罐區(qū) 利舊 13 殘液罐 立 式 V=50m3 ， Φ2500×10000 ， Q345R 2 新增 14 外排殘液罐 臥式 V=20m3，Φ2000×6000，Q345R 2 新增 15 事故罐 臥 式 V=100m3 ， Φ3000×14000 ， Q345R 1 罐區(qū) 利舊 16 事故罐 臥 式 V=100m3 ， Φ3000×14000 ， Q345R 1 新增 17 精制三氯氫硅輸送泵 屏蔽泵，H=20m，V=54m3 /h 2 新增 18 精制三氯氫硅出料泵 屏蔽泵，H=79m，Q=21.1m3 /h 2 罐區(qū) 利舊 19 精制三氯氫硅出料泵 屏蔽泵，H=80m，Q=15m3 /h 1 新增 20 三氯氫硅輸送泵 屏蔽泵，H=90m，Q=54m3 /h 2 新增 21 冷氫化供料泵 屏蔽泵，H=280m，Q=50m3 /h 2 新增 22 精餾塔供料泵 屏蔽泵，H=90m，Q=36m3 /h 2 新增 23 回收塔供料泵 屏蔽泵，H=50m，Q=16m3 /h 2 新增 24 反歧化塔供料泵 屏蔽泵，H=50m，Q=22m3 /h 2 新增 25 外購原料輸送泵 屏蔽泵，H=90m，Q=54m3 /h 2 新增 26 殘液回收供料泵 屏蔽泵，H=60m，Q=4m3 /h 2 罐區(qū) 利舊 七、尾氣回收工序 1 塔頂液體貯罐 1 新增 2 還原尾氣壓縮機(jī) 2 新增 3 壓縮氣氣換熱器 1 新增 4 壓縮氣過冷器 1 新增 5 制冷系統(tǒng) 1 利舊 八、氮氣壓空 1 2000Nm3 /h 制氮 1 利舊 2 7000Nm3 /h 壓空 1 利舊 3 2000Nm3 /h 制氮 成套設(shè)備 1 新增 九、余熱回收裝置 1 還原熱量回收裝置 成套設(shè)備 2 新增